Strwythur ac egwyddor weithredol trosglwyddydd pwysau silicon gwasgaredig

Cyfansoddiad strwythur trosglwyddydd pwysau silicon gwasgaredig

Ers allbwn y synhwyrydd pwysauUPX19yn signal ansafonol, mewn cymwysiadau ymarferol, er mwyn gwneud y synhwyrydd yn gyffredinol a hwyluso trosglwyddo a chofnodi signal, defnyddir y synhwyrydd ar y cyd â chylched mewnbwn signal safonol i allbwn signal safonol. Gelwir y synhwyrydd sy'n allbynnu'r signal safonol ar yr adeg hon yn drosglwyddydd pwysauUPB13.

Yn fyr, mae'r trosglwyddydd yn cael ei ddatblygu'n raddol o'r synhwyrydd. Mae'r trosglwyddydd pwysau silicon gwasgaredig a astudiwyd yn y papur hwn yn cynnwys synhwyrydd MEMS yn bennaf, capsiwl mesur, rhyngwyneb a chylched prosesu (bwrdd cylched craff).

Mae'r synhwyrydd pwysau a'r synhwyrydd tymheredd deuod yn cael eu pecynnu ar ben y capsiwl mesur, ac mae'r corff capsiwl wedi'i glampio gan ddwy flanges selio i ffurfio rhan fesur y trosglwyddydd, sy'n gyfrifol am drosi'r signal pwysau i'w fesur wrth y gweithio safle i mewn i signal foltedd. Yn ogystal, mae bwrdd cylched electronig, pennawd arddangos crisial hylifol a therfynell cysylltiad yn ffurfio'r rhan arddangos, sy'n gyfrifol am drosi allbwn signal foltedd gan y synhwyrydd i 4-20mA trwy ymhelaethu, yna allbynnu signal cerrynt safonol.

Egwyddor gweithio trosglwyddydd pwysau silicon gwasgaredig

Yn seiliedig ar effaith piezoresistive silicon monocrystalline, mae cydran elastig wedi'i ffugio i gyfeiriad penodol ar y wafer silicon gyda thechnoleg brosesu micro-electromecanyddol ddatblygedig, ac mae pedwar gwrthydd sy'n sensitif i rym sydd ag ymwrthedd cyfartal yn cael eu ffugio gan dechnoleg cylched integredig yn y safle cywir, sy'n cysylltu â phont Carreg Gwenith. Mae foltedd cyson (cerrynt) yn cael ei gymhwyso i'r bont, ac mae'r pwysau mesuredig yn cael ei drosglwyddo i'r sglodyn silicon trwy'r olew silicon wedi'i selio yn y capsiwl mesur heb ei golli, yna mae'r trosglwyddydd yn allbynnu signal foltedd sy'n gyfrannol unionlin â'r pwysau sydd i'w fesur, ac yna mae'r signal foltedd yn cael ei chwyddo a'i drawsnewid yn signal safonol dwy wifren trwy gylchedau electronig.

I grynhoi:

Gellir gwybod o'i egwyddor weithio bod y synhwyrydd pwysau yn rhan bwysig o'r trosglwyddydd pwysauUPB1, a phrif ffynhonnell drifft tymheredd y trosglwyddydd yw drifft tymheredd y synhwyrydd pwysau silicon. Mae'r ymchwil gyfredol ar iawndal drifft tymheredd trosglwyddyddion pwysau silicon hefyd yn canolbwyntio'n bennaf ar y rhan o synwyryddion pwysau silicon.

Am fanylion, cysylltwch âQi Huang